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技術參數(shù)：
產品名稱
三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎型）
產品型號
CY-PLZ180-III-DC-Q
樣 品 臺
尺寸
100mm
到靶面距離
20~35mm高度可調
等離子濺射靶
數(shù)量
2英寸 x3
冷卻方式
自然冷卻
真空腔體
腔體尺寸
φ180mm X 200mm
觀察窗口
全向可視
腔體材料
高純石英
開啟方式
頂蓋拆卸式
上下蓋材質
304不銹鋼
抽氣接口
KF25
進氣接口
1/4英寸卡套接頭
電源配置
數(shù)量
直流電源x1
輸出功率
*大150W
濺射電源
3000V
*大濺射電流
50mA
真空系統(tǒng)
真空泵類型
雙極旋片真空泵
抽氣接口
KF25
排氣接口
KF16
抽氣速率
1.1L/s（4m3/h）
極限真空度
≥1Pa
真空測量
電阻真空規(guī)
其 他
供電電源
AC 220V 50Hz
整機功率
1.5kW
整機尺寸
570mm X 450mm X550mm
整機重量
30kg
