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PECVD系統(tǒng)應(yīng)用的說明
日期：2025-12-10 20:53
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摘要：
PECVD主要是對半導(dǎo)體材料硅的濺射。
1. 廣泛應(yīng)用于MEMS、先進(jìn)封裝、功率半導(dǎo)體、LED制造、RF集成電路等領(lǐng)域
2. 放射方式對稱工藝氣體顯著提高晶圓片內(nèi)均勻性（WIW）
3. 多達(dá)10路氣體管路，可選on-board液體輸送系統(tǒng)
3. 多達(dá)10路氣體管路，可選on-board液體輸送系統(tǒng)
4. 復(fù)合頻率等離子體能力調(diào)節(jié)應(yīng)力
5. 有源冷卻平臺應(yīng)用在關(guān)鍵，低溫[小于175°C]封裝工藝
6. 可選敏感的de-gassing襯底材料增加單/多晶圓預(yù)加熱腔室
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